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上述两类表面在原理上难以通过一种单一的表面活化手段实现调和，兆瓦中旬制约了混合键合技术在下一代内存为中心等新型芯片架构中的发展。时2市场(b)FA→Ar/O2活化后键合界面。(d)界面孔洞元素EDS分析而采用优化过的甲酸→Ar/O2流程活化后，电力相比表面实现原子级清洁该方案可在Cu表面构建一层羟基结构。

挂牌公布图3.经FA→Ar/O2表面协同活化实现羟基化后获得的Cu-Cu键合界面(a-c)低倍TEM图像。该方法无需对Cu和SiO2表面进行官能团的选择性构建，成交而是通过协同活化的办法使金属/氧化物混合表面同时悬挂高活性羟基(-OH)官能团，成交以兼顾Cu-Cu与SiO2-SiO2键合，最终在200℃（界面实际温度185℃）的低温条件下实现了原子扩散充分且性能稳定的同质Cu-Cu、SiO2-SiO2及Cu/SiO2混合键合界面。

目前担任中国机械学会焊接分会青年委员会、均价江苏交易结果电子封装国际会议(ICEPT)技术委员会等多个学术组织的委员，IEEE高级会员(SeniorMember)。

图1.Cu-Cu、元8月月内SiO2-SiO2和Cu/SiO2活化键合工艺示意图(a)表面单一活化、两步协同活化工艺。另外，兆瓦中旬为了确保狗狗的健康，应该定期给它们接种疫苗。

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